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准分子激光器出现于七十年代初，由于其单光子能量大，量子效率高，准分子预混气报价，可实现高功率运转且处于紫外波段，因此短短的十几年中得到了迅速发展。进入八十年代，商品化准分子器件不断涌现，在实验室和工业界应用前景越来越广，使得该类器件成为气体激光器中发展快的器件之一。 但是与其它气体激光器相比，准分子器件的1大不足是光束质量差。为此，国际上，在八十年代后期，开始在商品器件上引入非稳腔以改善光束质量，如西德 Lambda Physik公司的产品〔幻。国内虽然在实验室内实现了KrF输出〔2〕〔3〕，但实用型器件至今仍停留在单一的XeCI(3O8nm)谱线，没有能很好地解决材料对FZ的耐腐蚀问题，因此限制了更短波长实用器件的出现，如KrF(2 48nm)，ArF(193nm)等。另一方面，大部分器件采用平一平腔结构，光束发散角高达3~4个mrad，而刻蚀、遥感等领域则需要发散角小一个数量级的激光输出。

准分子激光治1疗近视眼早是1985年美国医生开始在临床应用的，近年来发展迅速，九十年代初传入中国。准分子激光治1疗高、中、低度近视的手术效果远远优于以往的屈光手术，准分子预混气销售，因此，广为全世界的眼科医师所瞩目。但仍有很多人对它产生怀疑，怕眼睛被打穿、烧焦。

一般来说，准分子激光是波长很短的紫外光，它与生物组织发生的是光化学效应而不是热效应，因此，不会产生热损伤，更谈不上烧焦。另外，还有人顾虑会打穿眼球，这种顾虑是多余的，准分子激光波长短，准分子预混气供应商，穿透力弱，每个脉冲只能切削0.25um的深度，是在细胞下水平切削，切削极精1确，因此打穿眼球是不可能的。有人担心会伤害眼睛的其他部位，这也是多虑，因为准分子激光器都有红外线跟踪系统，宁波准分子预混气，当你的眼球偏转超出正常范围，激光会自动停止击射，保证安全治1疗。

金属混合靶与准分子激光气相沉积技术

正在ICF实验中，混合膜、多层膜是基础、基准实验用靶的一种重要靶型。薄膜的研究也成为ICF靶研究的重要领域，高质量的薄膜有利于物理诊断的研究。长期以来，发展了多种制膜技术和方法，如蒸发、离子束溅射、磁控溅射、分子束外延(MBE)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、溶胶-凝胶法等。近年来，随着高功率脉冲激光技术的发展而产生的脉冲激光制膜技术(PLD)，在制备多元素化合物膜等方面显示了独特的优越性。

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